한국

OKUMA CORPORATION

OPEN POSSIBILITIES

INDUSTRY SOLUTIONS반도체산업

다각형 챔버

다각형 챔버

반도체 제조장치의 진공 챔버 부품

재질: A5052

반도체산업

셋업 변경 시간 제로로 선삭 가공에서 밀링 가공까지 원척킹으로 완결

POINT 01
선삭과 밀링의 공정 집약으로 셋업의 수고를 절감
  • 선삭, 밀링, 경사홀, 다면 가공도 원척킹으로 가능
  • 셋업 횟수를 줄여 누적 워크 장착 오차를 줄이고 리드타임을 단축
  • 셋업 부품의 삭감으로 설계・제작 코스트를 저감

원척킹으로 다양한 가공을 실현

POINT 02
5축 가공 정도를 장시간 유지
  • 5-Axis Auto Tuning System에 의한 기하오차의 자동 보정
  • 조정이 어려운 5축 가공기의 정도를 누구나 간단히 보정할 수 있어, 연결부분의 단차와 홀 위치의 오차를 저감
터치프로브와 기준구를 사용해 튜닝
터치프로브와 기준구를 사용해 튜닝
POINT 03
슬러지레스 탱크에서 장기간 안정적인 가동을 실현
  • 알루미늄의 슬러지 회수율 99%
  • 번거로운 탱크 청소작업 횟수가 격감
  • 폐기 절삭액을 줄여 환경 부하를 저감
슬러지레스 탱크
슬러지레스 탱크