한국

OKUMA CORPORATION

OPEN POSSIBILITIES

INDUSTRY SOLUTIONS반도체산업

샤워 플레이트

샤워 플레이트

에칭장치 등의 소경 복수 홀 플레이트

재질: 단결정 실리콘

반도체산업

취성재료의 정밀 홀 가공

POINT 01
취성재료의 여러개 소경 홀도 안정 가공하는 고정도 주축
  • 주축회전속도 20,000min-1(표준 사양)
    30,000min-1 (특별사양)
  • 날끝의 열변위를 최소로 하는 회전축 냉각과 주축의 열변위를 정확하게 제어하는 주축 열변위 제어로 고정도 가공을 실현
형상 정도 오차 1μm (폭 20mm)
(샘플 워크)
형상 정도 오차 1μm (폭 20mm)(샘플 워크)
POINT 02
진동을 억제하는 기계구조로 정밀 가공을 가능하게
  • 저중심 구조 및 크로스레일(칼럼)과 베드 설치부의 강성을 향상시켜 진동을 억제
    취성재료 가공 시에 공구, 워크의 파손을 방지
고강성 구조
고강성 구조