OKUMA CORPORATION

반도체・액정 제조장치의 알루미늄재 정밀 가공에 Thermo-Friendly Concept은 절대 조건

주식회사 마루마에

Thermo-Friendly Concept의 열변위 제어와
공장 온도관리의 시너지 효과로 미크론 레벨의 정도 요구에 대응한다.

수직형 머시닝센터 「MB-V」, 5축제어 수직형 머시닝센터「MU-V」, 인텔리전트 복합가공기「MULTUS B」등 오쿠마의 신예기로 구성된 24시간 가동의 양산 라인(이즈미 사업소).
수직형 머시닝센터 「MB-V」, 5축제어 수직형 머시닝센터「MU-V」, 인텔리전트 복합가공기「MULTUS B」등 오쿠마의 신예기로 구성된 24시간 가동의 양산 라인(이즈미 사업소).

오쿠마 기기를 처음 도입한 것은 수직형 머시닝센터「MX-55V」이지만, 가공기계를 확충하는 중에「Thermo-Friendly Concept」 방식을 알고 「이것이 좋네」라고 공감했습니다. 당시, 화력발전용의 터빈 블레이드를 다루고 있었지만, 공조를 관리하고 있어도 공작기계의 신축(伸縮)에 의해 아침과 오후의 워크 치수에 20~30μm의 오차가 생겨, 몇 번이고 보정하고 있었습니다. 그것이「Thermo-Friendly Concept」 적용의 수직형 머시닝센터「MB-56V」를 도입하자 상정대로의 치수 정도를 확보할 수 있어 보정작업이 대폭 경감되었습니다.
반도체와 액정 제조장치 부품의 대부분은 알루미늄제이며, 철의 2배의 열팽창율이 있기 때문에 1℃의 온도 차로 1미터당 24μm 신축합니다. 이 알루미늄재에서 워크를 깎아냅니다만, 특히 평면도의 정도가 엄격하고 예를 들어 대형 부품가공을 담당하는 다카오야 사업소에서는 챔버의 평면도를 10μm 이하로 가공하고 있습니다. 이 정도를 안정적으로 확보하기 위해서는 그 2분의 1의 정도를 목표로 합니다.

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본사・공장 가고시마현 이즈미시 오노하라쵸 2141번지
설립 1988년
사업내용 반도체 제조장치, 액정 디스플레이 제조장치 등의 진공부품 제조를 중심으로 정밀기계・정밀기기의 설계・제조・가공 정밀기계부품의 설계 및 제작, 산업・의료기계기구의 설계・제조・판매, 소프트웨어의 개발・판매
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대표이사 사장  마에다 토시카즈(Maeda Toshikazu)
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